Особенности температурной зависимости удельного контактного сопротивления диффузионных кремниевых структур Au-Ti-Pd-n{+}-n-Si
Беляев, А. Е., Кладько, В. П., Сафрюк-Романенко, Н. В., Любченко, A. И., Слепова, А. С., Пилипенко, В. А., Петлицкая, Т. В., Пилипчук, А. С., Конакова, Р. В. , Саченко, А. В.
Особенности температурной зависимости удельного контактного сопротивления диффузионных кремниевых структур Au-Ti-Pd-n{+}-n-Si, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2019, Т. 53, вып. 4. - С. 485-492
Беляев_особенности
