| Индекс УДК | 621.373/.374 |
|
Влияние быстрой термической обработки исходных кремниевых пластин на процесс их пирогенного окисления В. М. Анищик [и др.] |
|
| Аннотация | Уменьшение толщины нарушенного слоя кремния после быстрой термической обработки, снижающее его влияние на начальный этап пирогенного окисления. |
| Ключевые слова |
кремниевые пластины термическая обработка окисление пирогенное окисление двуокись кремния диэлектрики |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | № 2. - С. 81-85 |
| Название источника | Журнал Белорусского государственного университета. Физика |
