| Маркер записи | n 22 4500 |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/585920542 |
| Дата корректировки | 8:38:09 31 августа 2018 г. |
| Кодируемые данные | 180823s2018||||by |||||||||||000|||rus|| |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Белорусского государственного университета БелАР |
| Код языка каталог. | rus |
|
rus rus |
|
| Индекс УДК | 621.373/.374 |
| Индекс ББК | 32.847 |
|
070 z01710 Анищик, В. М. доктор физико-математических наук Виктор Михайлович |
|
|
Влияние быстрой термической обработки исходных кремниевых пластин на процесс их пирогенного окисления В. М. Анищик [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | рис. |
| Библиография | Библиогр.: с. 85 (2 назв.) |
| Аннотация | Уменьшение толщины нарушенного слоя кремния после быстрой термической обработки, снижающее его влияние на начальный этап пирогенного окисления. |
| Основная рубрика |
Радиоэлектроника Импульсные устройства |
| Ключевые слова |
кремниевые пластины термическая обработка окисление пирогенное окисление двуокись кремния диэлектрики |
|
070 z02710 Горушко, В. А. Валентина Алексеевна 070 z03710 Пилипенко, В. А. член-корреспондент Владимир Александрович 070 z04710 Понарядов, В. В. кандидат физико-математических наук Владимир Васильевич 070 z05710 Солодуха, В. А. кандидат технических наук Виталий Александрович |
|
|
z01100 Белорусский государственный университет z02700 Государственный центр "Белмикроанализ" филиала НТЦ "Белмикросистемы" ОАО "Интеграл" Минск z03700 Белорусский государственный университет z04700 Белорусский государственный университет z05700 ОАО "Интеграл" Минск |
|
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | № 2. - С. 81-85 |
| Название источника | Журнал Белорусского государственного университета. Физика |
| ISSN | 2520-2243 |
|
RU 863 |
|
| Тип документа | b |
| Физика конденсированного состояния |
