-
Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии
Анищик, В. М., Горушко, В. А., Пилипенко, В. А., Понарядов, В. В., Солодуха, В. А.
Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии, [[Текст]], В. М. Анищик [и др.]
табл., рис.
// Журнал Белорусского государственного университета. Физика .-
2017 .-
№ 2. - С. 63-68 .-
-
Электропроводность пленок силицида платины, сформированных с применением быстрой термообработки
Анищик, В. М., Горушко, В. А., Пилипенко, В. А., Понарядов, В. В., Солодуха, В. А.
Электропроводность пленок силицида платины, сформированных с применением быстрой термообработки, В. М. Анищик [и др.]
2019 .-
№ 1. - С. 27-31 .-
// Журнал Белорусского государственного университета. Физика .-
-
Разработка электроники считывания для новых экспериментов по физике частиц и высоких энергий
Батурицкий, М. А., Белоус, А. И., Божаткин, О. А., Дворников, О. В., Михайлов, В. А., Пискун, А. А., Солин, А. А., Солин, А. В., Солодуха, В. А., Терехов, Г. С.
ил., табл.
// Вестник Фонда фундаментальных исследований .-
2015 .-
№ 3. - С. 59-73 .-
-
Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии
Анищик, В. М., Горушко, В. А., Пилипенко, В. А., Понарядов, В. В., Солодуха, В. А.
Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии, В. М. Анищик [и др.]
табл., рис.
2017 .-
№ 2. - С. 63-68 .-
// Журнал Белорусского государственного университета. Физика .-
-
Влияние быстрой термической обработки исходных кремниевых пластин на процесс их пирогенного окисления
Анищик, В. М., Горушко, В. А., Пилипенко, В. А., Понарядов, В. В., Солодуха, В. А.
Влияние быстрой термической обработки исходных кремниевых пластин на процесс их пирогенного окисления, В. М. Анищик [и др.]
рис.
2018 .-
№ 2. - С. 81-85 .-
// Журнал Белорусского государственного университета. Физика .-
-
Зарядовые свойства тонких подзатворных диэлектриков, полученных методом быстрой термообработки
Ковальчук, Н. С., Марудо, Ю. А., Омельченко, А. А., Пилипенко, В. А., Солодуха, В. А., Демидович, С. А., Колос, В. В., Анищик, В. М., Филипеня, В. А., Шестовский, Д. В.
Зарядовые свойства тонких подзатворных диэлектриков, полученных методом быстрой термообработки, Н. С. Ковальчук [и др.]
2022 .-
2 рис.
-
Идентификация фаз силицидов никеля на поверхности кремния по спектрам комбинационного рассеяния света
Солодуха, В. А., Турцевич, А. С., Соловьев, Я. А., Сарычев, О. Э., Мильчанин, О. В.
Идентификация фаз силицидов никеля на поверхности кремния по спектрам комбинационного рассеяния света, [Текст]
Журнал прикладной спектроскопии, 2012, Т. 79, № 6. - С. 1002-1005
-
Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика
Анищик, В. М., Горушко, В. А., Пилипенко, В. А., Понарядов, В. В., Солодуха, В. А.
Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика, В. М. Анищик [и др.]
Минск :
БГУ ,
2019 .-
табл.
-
Структурно-фазовые переходы в системе Pt-Si при быстрой термообработке
Пилипенко, В. А., Солодуха, В. А., Комаров, Ф. Ф., Горушко, В. А.
Структурно-фазовые переходы в системе Pt-Si при быстрой термообработке, В. А. Пилипенко, Ф. Ф. Комаров, В. А. Солодуха, В. А. Горушко
2020 .-
3 рис.
-
Электролюминесценция пленок SiO[2] на Si, полученных термическим окислением и плазмохимическим осаждением
Романов, И. А., Ковальчук, Н. С., Власукова, Л. А., Пархоменко, И. Н., Солодуха, В. А., Пилипенко, В. А., Шестовский, Д. В., Демидович, С. А.
Электролюминесценция пленок SiO[2] на Si, полученных термическим окислением и плазмохимическим осаждением, И. А. Романов [и др.]
2021 .-
рис.
-
Изменение оптических параметров кремния после быстрой термической обработки
Анищик, В. М., Горушко, В. А., Пилипенко, В. А., Понарядов, В. В., Солодуха, В. А., Омельченко, А. А.
Изменение оптических параметров кремния после быстрой термической обработки, В. М. Анищик [и др.]
2021 .-
табл.
-
Управляемая трансформация параметров кремниевых биполярных мощных СВЧ-транзисторов ионными пучками
Солодуха, В. А., Снитовский, Ю. П.
Управляемая трансформация параметров кремниевых биполярных мощных СВЧ-транзисторов ионными пучками, В. А. Солодуха, Ю. П. Снитовский
4 ил.
2015 .-
Т. 59, № 1. - С. 112-117 .-
// Доклады Национальной академии наук Беларуси .-
