Поиск

Изменение оптических параметров кремния после быстрой термической обработки

Авторы: Анищик, В. М. Горушко, В. А. Пилипенко, В. А. Понарядов, В. В. Солодуха, В. А. Омельченко, А. А.
Подробная информация
Индекс УДК 536.42
Изменение оптических параметров кремния после быстрой термической обработки
В. М. Анищик [и др.]
Дата издания оригинала 2021