Поиск

Идентификация фаз силицидов никеля на поверхности кремния по спектрам комбинационного рассеяния света

Авторы: Солодуха, В. А. Турцевич, А. С. Соловьев, Я. А. Сарычев, О. Э. Мильчанин, О. В.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Идентификация фаз силицидов никеля на поверхности кремния по спектрам комбинационного рассеяния света
Текст
Журнал прикладной спектроскопии
2012
Т. 79, № 6. - С. 1002-1005