Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика
Поиск

Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика

Авторы: Анищик, В. М. Горушко, В. А. Пилипенко, В. А. Понарядов, В. В. Солодуха, В. А.
Подробная информация
Индекс УДК 621.03
Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика
В. М. Анищик [и др.]
Место издания Минск
Издательство БГУ
Дата издания оригинала 2019