| Маркер записи | n 22 4500 |
| Контрольный номер | 10d6b7287eab4318b7769697dfab5fd4 |
| Дата корректировки | 11:30:51 30 августа 2019 г. |
| Кодируемые данные | 190814s2019||||by |||||||||||||||||rus|| |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Белорусского государственного университета БелАР |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 621.03 |
| Индекс ББК | 30.13 |
|
070 z01710 Анищик, В. М. доктор физико-математических наук Виктор Михайлович |
|
|
Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика В. М. Анищик [и др.] |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГУ |
| Дата издания оригинала | 2019 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | табл. |
| Библиография | Библиогр.: с. 52 (10 назв.) |
| Аннотация | Уменьшение величины поверхностного сопротивления связано с электрической доактивацией введенной примеси в процессе быстрой термической обработки, а увеличение глубины ее залегания - с удвоением коэффициента диффузии, обусловленным электрическим полем, возникающим под воздействием фотонного потока. |
|
Техника Техническая физика |
|
| Ключевые слова |
ионно-легированные слои термическая обработка поверхностное сопротивление коэффициент диффузии фотонный поток электрическое поле |
|
070 z02710 Горушко, В. А. Валентина Алексеевна 070 z03710 Пилипенко, В. А. член-корреспондент Владимир Александрович 070 z04710 Понарядов, В. В. кандидат физико-математических наук Владимир Васильевич 070 z05710 Солодуха, В. А. кандидат технических наук Виталий Александрович |
|
|
z01100 Белорусский государственный университет z02700 Государственный центр "Белмикроанализ" НТЦ "Белмикросистемы" ОАО "Интеграл" z03700 Белорусский государственный университет z04700 Белорусский государственный университет z05700 ОАО "Интеграл" |
|
|
984f34d8c5004ff6af1955cb65c52ce9 Журнал Белорусского государственного университета. Физика 2019 № 2. - С. 48-53 2520-2243 |
|
| RU | |
| 863 | |
| Тип документа | b |
| Физика конденсированного состояния |
