Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Электролюминесценция пленок SiO[2] на Si, полученных термическим окислением и плазмохимическим осаждением
Поиск

Электролюминесценция пленок SiO[2] на Si, полученных термическим окислением и плазмохимическим осаждением

Авторы: Романов, И. А. Ковальчук, Н. С. Власукова, Л. А. Пархоменко, И. Н. Солодуха, В. А. Пилипенко, В. А. Шестовский, Д. В. Демидович, С. А.
Подробная информация
Индекс УДК 539.2
Электролюминесценция пленок SiO[2] на Si, полученных термическим окислением и плазмохимическим осаждением
И. А. Романов [и др.]
Дата издания 2021