| Индекс УДК |
621.382 621.373/.374 |
|
Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии В. М. Анищик [и др.] |
|
| Аннотация | Возможность использования быстрой термической обработки для формирования ионно-легированных слоев в поликремнии. |
| Ключевые слова |
термическая обработка поликремний ионно-легированные слои поверхностное сопротивление электрическая активация микроэлектроника |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | № 2. - С. 63-68 |
| Название источника | Журнал Белорусского государственного университета. Физика |
