Индекс УДК |
620.1/.2 621.373/.374 |
Электропроводность пленок силицида платины, сформированных с применением быстрой термообработки В. М. Анищик [и др.] |
|
Аннотация | Результаты исследования изменения удельного сопротивления системы Pt-Si при формировании силицида платины методом его диффузионного синтеза с применением быстрой термообработки. |
Ключевые слова |
силицид платины твердофазный синтез электропроводность диффузионный синтез платина пленки платины удельное сопротивление |
Место и дата издания | 2019 |
Прочая информация | № 1. - С. 27-31 |
Название источника | Журнал Белорусского государственного университета. Физика |