Каталог библиотеки БГТУ

1. Базы данных
2. Статьи
3. Контроль дефектов структуры кремний-диэлектрик на основе анализа пространственного распределения потенциала по поверхности полупроводниковых пластин

Контроль дефектов структуры кремний-диэлектрик на основе анализа пространственного распределения потенциала по поверхности полупроводниковых пластин

Авторы: Воробей, Р. И. Гусев, О. К. Жарин, А. Л. Петлицкий, А. Н. Пилипенко, В. А. Турцевич, А. С. Тявловский, А. К. Тявловский, К. Л.