| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/440594900 |
| Дата корректировки | 21:27:50 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 620.191.4 |
| Воробей, Р. И. | |
|
Контроль дефектов структуры кремний-диэлектрик на основе анализа пространственного распределения потенциала по поверхности полупроводниковых пластин Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 8 назв. |
|
метод Кельвина-Зисмана неразрушающий контроль потенциал поверхности полупроводниковые пластины дефекты |
|
|
Гусев, О. К. Жарин, А. Л. Петлицкий, А. Н. Пилипенко, В. А. Турцевич, А. С. Тявловский, А. К. Тявловский, К. Л. |
|
|
Приборы и методы измерений 2013 № 2. - С. 67-72 |
|
| Тип документа | b |
