Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Исследование топологии интегральных микросхем методом атомно-силовой микроскопии
Поиск

Исследование топологии интегральных микросхем методом атомно-силовой микроскопии

Авторы: Пилипенко, В. А. Чижик, С. А. Понарядов, В. В. Петлицкая, Т. В. Кузнецова, Т. А.
Подробная информация
Индекс УДК 621.3.049.77+621.385.833.2
Исследование топологии интегральных микросхем методом атомно-силовой микроскопии
Текст
Другие авторы Чижик, С. А.
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика
2012
№ 1. - С. 17-20