| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/383845548 |
| Дата корректировки | 20:40:48 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.3.049.77+621.385.833.2 |
| Пилипенко, В. А. | |
|
Исследование топологии интегральных микросхем методом атомно-силовой микроскопии Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 4 назв. |
|
атомно-силовая микроскопия интегральные микросхемы микроэлектроника физика |
|
| Другие авторы | Чижик, С. А. |
|
Понарядов, В. В. Петлицкая, Т. В. Кузнецова, Т. А. |
|
|
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика 2012 № 1. - С. 17-20 |
|
| Тип документа | b |
