-
Влияние ионной имплантации азота на электрофизические свойства подзатворного диэлектрика силовых МОП-транзисторов
Оджаев, В. Б., Панфиленко, А. К., Петлицкий, А. Н., Просолович, В. С., Ковальчук, Н. С., Соловьев, Я. А., Филипеня, В. А., Шестовский, Д. В.
Влияние ионной имплантации азота на электрофизические свойства подзатворного диэлектрика силовых МОП-транзисторов, В. Б. Оджаев [и др.]
2020 .-
рис.
-
Склерометрический метод измерения микротвердости пленок фоторезиста на кремнии
Бринкевич, Д. И., Просолович, В. С., Янковский, Ю. Н., Вабищевич, С. А., Вабищевич, Н. В., Гайшун, В. Е.
ил., табл.
// Приборы и методы измерений .-
2016 .-
Т. 7, № 1. - С. 77-84 .-
-
Электрофизические параметры генераторных диодов для создания широкополосного шума
Буслюк, В. В., Нерода, И. Ю., Петлицкий, А. Н., Просолович, В. С., Янковский, Ю. Н., Лановский, Р. А.
Электрофизические параметры генераторных диодов для создания широкополосного шума, [[Текст]], В. В. Буслюк [и др.]
3 ил.
// Журнал Белорусского государственного университета. Физика .-
2017 .-
№ 1. - С. 95-99 .-
-
Исследование поверхности полимеров модифицированной радиационной обработкой
Харченко, А. А., Бринкевич, С. Д., Вабищевич, Н. В., Лукашевич, М. Г., Просолович, В. С., Оджаев, В. Б.
Исследование поверхности полимеров модифицированной радиационной обработкой, [Текст]
ил.
Вестник Полоцкого государственного университета. Сер. С, Фундаментальные науки, 2013, № 12. - С. 83-90
-
Взаимодействие индентора с пленками сополимеров на основе метилметакрилата
Вабищевич, С. А., Вабищевич, Н. В., Бринкевич, Д. И., Просолович, В. С.
Взаимодействие индентора с пленками сополимеров на основе метилметакрилата, [Текст]
ил., табл.
Вестник Полоцкого государственного университета. Сер. C, Фундаментальные науки, 2016, № 4. - С. 90-96
-
Спектры нарушенного полного внутреннего отражения пленок диазохинон-новолачного фоторезиста
Бринкевич, С. Д., Бринкевич, Д. И., Просолович, В. С., Ластовский, С. Б., Петлицкий, А. Н.
Спектры нарушенного полного внутреннего отражения пленок диазохинон-новолачного фоторезиста, С. Д. Бринкевич, Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович [и др.]
// Журнал прикладной спектроскопии .-
2020 .-
Т. 87, № 6. - С. 941-948 .-
-
Упрочнение кремния вблизи границы раздела SijO[2]/Si
Бринкевич, Д. И., Петров, В. В., Просолович, В. С., Вабищевич, Н. В., Вабищевич, С. А., Петлицкий, А. Н.
Упрочнение кремния вблизи границы раздела SijO[2]/Si, [Текст]
ил.
Вестник Полоцкого государственного университета. Сер. С, Фундаментальные науки, 2011, № 12. - С. 73-76
-
Модификация приповерхностных слоев монокристаллов кремния, имплантированных высокоэнергетическими ионами фосфора и бора
Бринкевич, Д. И., Вабищевич, С. А., Просолович, В. С., Янковский, Ю. Н.
ил., табл.
// Весці Нацыянальнай акадэміі навук Беларусі. Серыя фізіка-матэматычных навук .-
2014 .-
№ 4. - С. 98-102 .-
-
Механизм адгезионного взаимодействия пленок диазохинонноволачного фоторезиста с монокристаллическим кремнием
Бринкевич, С. Д., Гринюк, Е. В., Бринкевич, Д. И., Свердлов, Р. Л., Просолович, В. С., Петлицкий, А. Н.
Механизм адгезионного взаимодействия пленок диазохинонноволачного фоторезиста с монокристаллическим кремнием, С. Д. Бринкевич, Е. В. Гринюк, Д. И. Бринкевич [и др.]
// Журнал прикладной спектроскопии .-
2020 .-
Т. 87, № 4. - С. 589-594 .-
-
Исследование прочностных свойств пленок фоторезиста на кремнии методом склерометрии
Вабищевич, С. А., Вабищевич, Н. В., Бринкевич, Д. И., Просолович, В. С., Янковский, Ю. Н.
Исследование прочностных свойств пленок фоторезиста на кремнии методом склерометрии, [Текст]
ил.
Вестник Полоцкого государственного университета. Сер. С, Фундаментальные науки, 2015, № 12. - С. 67-71
-
Повышение эффективности промышленного кремниевого солнечного элемента легированием никелем
Бахадырханов, М. К., Кенжаев, З. Т., Исмайлов, Б. К., Оджаев, В. Б., Просолович, В. С., Янковский, Ю. Н.
Повышение эффективности промышленного кремниевого солнечного элемента легированием никелем, М. К. Бахадырханов [и др.]
2021 .-
рис.
-
Модификация пленок диазохинонноволачного фоторезиста имплантацией ионов бора
Бринкевич, Д. И., Просолович, В. С., Янковский, Ю. Н.
Модификация пленок диазохинонноволачного фоторезиста имплантацией ионов бора, Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович, Ю. Н. Янковский
2020 .-
2 табл., 3 рис.
-
Дефектообразование в фоторезисте за слоем внедрения ионов
Вабищевич, Н. В., Вабищевич, С. А., Бринкевич, Д. И., Оджаев, В. Б., Просолович, В. С., Янковский, Ю. Н., Простомолотов, А. И.
Дефектообразование в фоторезисте за слоем внедрения ионов, [Текст]
Вестник Полоцкого государственного университета. Сер. С, Фундаментальные науки, 2013, № 4. - С. 69-74
-
Прочностные свойства структур фоторезист-кремний, y-облученных и имплантированных ионами B{+} и P{+}
Вабищевич, С. А., Вабищевич, Н. В., Бринкевич, Д. И., Просолович, В. С., Янковский, Ю. Н., Бринкевич, С. Д.
Прочностные свойства структур фоторезист-кремний, y-облученных и имплантированных ионами B{+} и P{+}, [Текст]
ил.
Вестник Полоцкого государственного университета. Сер. C, Фундаментальные науки, 2016, № 12. - С. 30-36
-
Микротвердость пленок сополимеров на основе метилметакрилата, облученных y-квантами
Вабищевич, С. А., Вабищевич, Н. В., Бринкевич, Д. И., Бринкевич, С. Д., Просолович, В. С.
Микротвердость пленок сополимеров на основе метилметакрилата, облученных y-квантами, [Текст]
ил.
Вестник Полоцкого государственного университета. Сер. C, Фундаментальные науки, 2016, № 12. - С. 51-57
-
ИК-Фурье-спектроскопия нарушенного полного внутреннего отражения пленок полиимида на пластинах монокристаллического кремния
Просолович, В. С., Бринкевич, Д. И., Гринюк, Е. В., Бринкевич, С. Д., Колос, В. В., Зубова, О. А., Ластовский, С. Б.
ИК-Фурье-спектроскопия нарушенного полного внутреннего отражения пленок полиимида на пластинах монокристаллического кремния, В. С. Просолович, Д. И. Бринкевич, Е. В. Гринюк [и др.]
// Журнал прикладной спектроскопии .-
2024 .-
Т. 91, № 2. - С. 221-226 .-
-
Электрофизические характеристики силовых МОП-трансзисторов, дополнительно имплантированных ионами азота
Оджаев, В. Б., Петлицкий, А. Н., Просолович, В. С., Ковальчук, Н. С., Соловьев, Я. А., Шестовский, Д. В., Явид, В. Ю., Янковский, Ю. Н.
Электрофизические характеристики силовых МОП-трансзисторов, дополнительно имплантированных ионами азота, В. Б. Оджаев [и др.]
2022 .-
7 рис., 1 табл.