Поиск

ИК-Фурье-спектроскопия нарушенного полного внутреннего отражения пленок полиимида на пластинах монокристаллического кремния

Авторы: Просолович, В. С. Бринкевич, Д. И. Гринюк, Е. В. Бринкевич, С. Д. Колос, В. В. Зубова, О. А. Ластовский, С. Б.
Подробная информация
Индекс УДК 535.33
539.2
ИК-Фурье-спектроскопия нарушенного полного внутреннего отражения пленок полиимида на пластинах монокристаллического кремния
В. С. Просолович, Д. И. Бринкевич, Е. В. Гринюк [и др.]
Аннотация Исследованы спектры нарушенного полного внутреннего отражения пленок полиимида PI2610, сформированных на пластинах монокристаллического кремния методом центрифугирования. Облучение электронами с энергией 5 МэВ проведено на линейном ускорителе в интервале доз 1 * 1014 - 2 * 10{15} cм{–2}. Наиболее интенсивными в спектре полиимидных пленок PI2610 являются полосы колебаний связи C-N-C[st] имидного цикла (1349 см{–1}), колебаний ароматического кольца (1517 см–1), валентных колебаний группы C=O[str] имидного цикла (1700 см{–1}) и валентных колебаний С-С-связи в СО-Сst-группе (1074 см{–1}), а также полосы деформационных колебаний С-Н-связей с максимумами при 734 и 828 см{–1}. При начальной дозе 1 * 10{14} cм{–2} наблюдалось изменение спектральной формы и интенсивности полос с максимумами при 1700 и 1349 см{–1}, соответствующих колебаниям С=О- и C=N-C[str]-групп. Предполагается, что это обусловлено релаксацией метастабильных состояний указанных групп. При дозе 2 * 10{15} cм{–2} обнаружено уменьшение интенсивности полос, соответствующих асимметричным и симметричным валентным колебаниям С-Н[2]-связей. Интенсивность полос нарушенного полного внутреннего отражения, обусловленных колебаниями С=О- и С-N-связей ароматических и имидных циклов, практически не изменялась.
Название источника Журнал прикладной спектроскопии
Место и дата издания 2024
Прочая информация Т. 91, № 2. - С. 221-226