Поиск

ИК-Фурье-спектроскопия нарушенного полного внутреннего отражения пленок полиимида на пластинах монокристаллического кремния

Авторы: Просолович, В. С. Бринкевич, Д. И. Гринюк, Е. В. Бринкевич, С. Д. Колос, В. В. Зубова, О. А. Ластовский, С. Б.
Краткая информация
Маркер записи n 22 3 4500
Контрольный номер zhps24_to91_no2_ss221_ad1
Дата корректировки 12:45:10 30 августа 2024 г.
Кодируемые данные 240802s2024||||RU|||||||||||#||||# rus0|
Системный контрольный номер RUMARS-zhps24_to91_no2_ss221_ad1
AR-MARS
Служба первич. каталог. Научная библиотека им. М. М. Бахтина Мордовского госуниверситета им. Н. П. Огарева
МАРС
Код языка каталог. rus
Код языка издания rus
rus
Индекс УДК 535.33
539.2
Индекс ББК 22.344
22.37
Таблицы для массовых библиотек
Таблицы для массовых библиотек
Просолович, В. С.
070
ИК-Фурье-спектроскопия нарушенного полного внутреннего отражения пленок полиимида на пластинах монокристаллического кремния
В. С. Просолович, Д. И. Бринкевич, Е. В. Гринюк [и др.]
Текст
непосредственный
Библиография Библиогр.: с. 226 (14 назв. )
Аннотация Исследованы спектры нарушенного полного внутреннего отражения пленок полиимида PI2610, сформированных на пластинах монокристаллического кремния методом центрифугирования. Облучение электронами с энергией 5 МэВ проведено на линейном ускорителе в интервале доз 1 * 1014 - 2 * 10{15} cм{–2}. Наиболее интенсивными в спектре полиимидных пленок PI2610 являются полосы колебаний связи C-N-C[st] имидного цикла (1349 см{–1}), колебаний ароматического кольца (1517 см–1), валентных колебаний группы C=O[str] имидного цикла (1700 см{–1}) и валентных колебаний С-С-связи в СО-Сst-группе (1074 см{–1}), а также полосы деформационных колебаний С-Н-связей с максимумами при 734 и 828 см{–1}. При начальной дозе 1 * 10{14} cм{–2} наблюдалось изменение спектральной формы и интенсивности полос с максимумами при 1700 и 1349 см{–1}, соответствующих колебаниям С=О- и C=N-C[str]-групп. Предполагается, что это обусловлено релаксацией метастабильных состояний указанных групп. При дозе 2 * 10{15} cм{–2} обнаружено уменьшение интенсивности полос, соответствующих асимметричным и симметричным валентным колебаниям С-Н[2]-связей. Интенсивность полос нарушенного полного внутреннего отражения, обусловленных колебаниями С=О- и С-N-связей ароматических и имидных циклов, практически не изменялась.
Физика
AR-MARS
Спектроскопия
AR-MARS
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
AR-MARS
Ключевые слова ИК-Фурье-спектроскопия
кремний
нарушенное полное внутреннее отражение
облучение электронами
отражения пленок полиимида
пластины монокристаллического кремния
полиимид PI-2610
Бринкевич, Д. И.
070
Гринюк, Е. В.
070
Бринкевич, С. Д.
070
Колос, В. В.
070
Зубова, О. А.
070
Ластовский, С. Б.
070
ISSN 0514-7506
Название источника Журнал прикладной спектроскопии
Место и дата издания 2024
Прочая информация Т. 91, № 2. - С. 221-226
RU
43013090
20240802
RCR
RU
43013090
20240802
RU
AR-MARS
20240802
RCR
RU
AR-MARS
20240802
Тип документа b
code
year
to
no
ss
ad
zhps
2024
91
2
221
1
718
Спектроскопия твердых тел