Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Исследование прочностных свойств пленок фоторезиста на кремнии методом склерометрии
Поиск

Исследование прочностных свойств пленок фоторезиста на кремнии методом склерометрии

Авторы: Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. Янковский, Ю. Н.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Исследование прочностных свойств пленок фоторезиста на кремнии методом склерометрии
Текст
Вестник Полоцкого государственного университета. Сер. С, Фундаментальные науки
2015
№ 12. - С. 67-71