| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/505306942 |
| Дата корректировки | 16:33:50 13 мая 2016 г. |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Вабищевич, С. А. | |
|
Исследование прочностных свойств пленок фоторезиста на кремнии методом склерометрии Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 5 назв. |
|
прочностные свойства пленки фоторезиста кремний склерометрия |
|
|
Вабищевич, Н. В. Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. Янковский, Ю. Н. |
|
|
Вестник Полоцкого государственного университета. Сер. С, Фундаментальные науки 2015 № 12. - С. 67-71 |
|
| Тип документа | b |
