| Индекс УДК | 621.315.592:546.28 |
| Автор | Бринкевич, Д. И. |
| Заглавие | Модификация приповерхностных слоев монокристаллов кремния, имплантированных высокоэнергетическими ионами фосфора и бора |
| Физич. носитель | Текст |
| Ключевые слова | монокристаллы |
| Другие авторы | Вабищевич, С. А. |
| Название источника | Весці Нацыянальнай акадэміі навук Беларусі. Серыя фізіка-матэматычных навук |
| Место и дата издания | 2014 |
| Прочая информация | № 4. - С. 98-102 |
