| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/473853826 |
| Дата корректировки | 22:06:32 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Яновская |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592:546.28 |
| Автор | Бринкевич, Д. И. |
| Заглавие | Модификация приповерхностных слоев монокристаллов кремния, имплантированных высокоэнергетическими ионами фосфора и бора |
| Физич. носитель | Текст |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 7 назв. |
| Ключевые слова | монокристаллы |
|
кремний легирование кремния ионная имплантация фосфор бор |
|
| Другие авторы | Вабищевич, С. А. |
|
Просолович, В. С. Янковский, Ю. Н. |
|
| Название источника | Весці Нацыянальнай акадэміі навук Беларусі. Серыя фізіка-матэматычных навук |
| Место и дата издания | 2014 |
| Прочая информация | № 4. - С. 98-102 |
| Тип документа | b |
