Поиск

Прочностные свойства структур фоторезист-кремний, y-облученных и имплантированных ионами B{+} и P{+}

Авторы: Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. Янковский, Ю. Н. Бринкевич, С. Д.
Подробная информация
Индекс УДК 546.28:621.315.592
Прочностные свойства структур фоторезист-кремний, y-облученных и имплантированных ионами B{+} и P{+}
Текст
Другие авторы Вабищевич, Н. В.
Вестник Полоцкого государственного университета. Сер. C, Фундаментальные науки
2016
№ 12. - С. 30-36