Индекс УДК | 546.28:621.315.592 |
Прочностные свойства структур фоторезист-кремний, y-облученных и имплантированных ионами B{+} и P{+} Текст |
|
Другие авторы | Вабищевич, Н. В. |
Вестник Полоцкого государственного университета. Сер. C, Фундаментальные науки 2016 № 12. - С. 30-36 |