| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/536939138 |
| Дата корректировки | 13:45:38 5 января 2017 г. |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 546.28:621.315.592 |
| Вабищевич, С. А. | |
|
Прочностные свойства структур фоторезист-кремний, y-облученных и имплантированных ионами B{+} и P{+} Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 15 назв. |
|
фоторезист-кремний гамма-облучение ионная имплантация склерометрия индентирование |
|
| Другие авторы | Вабищевич, Н. В. |
|
Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. Янковский, Ю. Н. Бринкевич, С. Д. |
|
|
Вестник Полоцкого государственного университета. Сер. C, Фундаментальные науки 2016 № 12. - С. 30-36 |
|
| Тип документа | b |
