Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Дефектообразование в фоторезисте за слоем внедрения ионов
Поиск

Дефектообразование в фоторезисте за слоем внедрения ионов

Авторы: Вабищевич, Н. В. Вабищевич, С. А. Бринкевич, Д. И. Оджаев, В. Б. Просолович, В. С. Янковский, Ю. Н. Простомолотов, А. И.
Подробная информация
Индекс УДК 546.28:521.315.592
Дефектообразование в фоторезисте за слоем внедрения ионов
Текст
Вестник Полоцкого государственного университета. Сер. С, Фундаментальные науки
2013
№ 4. - С. 69-74