| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/225081326 |
| Дата корректировки | 21:14:18 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 546.28:521.315.592 |
| Вабищевич, Н. В. | |
|
Дефектообразование в фоторезисте за слоем внедрения ионов Текст |
|
| Библиография | Библиогр.: 16 назв. |
|
дефектообразование ионная имплантация фоторезист |
|
|
Вабищевич, С. А. Бринкевич, Д. И. Оджаев, В. Б. Просолович, В. С. Янковский, Ю. Н. Простомолотов, А. И. |
|
|
Вестник Полоцкого государственного университета. Сер. С, Фундаментальные науки 2013 № 4. - С. 69-74 |
|
| Тип документа | b |
