Дефектообразование в фоторезисте за слоем внедрения ионов
Вабищевич, Н. В., Вабищевич, С. А., Бринкевич, Д. И., Оджаев, В. Б., Просолович, В. С., Янковский, Ю. Н., Простомолотов, А. И.
Дефектообразование в фоторезисте за слоем внедрения ионов, [Текст]
Вестник Полоцкого государственного университета. Сер. С, Фундаментальные науки, 2013, № 4. - С. 69-74