Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Модификация пленок диазохинонноволачного фоторезиста имплантацией ионов бора
Поиск

Модификация пленок диазохинонноволачного фоторезиста имплантацией ионов бора

Авторы: Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. Янковский, Ю. Н.
Подробная информация
Индекс УДК 546
Модификация пленок диазохинонноволачного фоторезиста имплантацией ионов бора
Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович, Ю. Н. Янковский
Дата издания оригинала 2020