| Маркер записи | n 22 4500 |
| Контрольный номер | BY/FL BSU/Stat/MazanikIN/958f2258ec394aec90ee7ab48185b89a |
| Дата корректировки | 13:12:44 30 сентября 2020 г. |
| Кодируемые данные | 200918s2020||||by |||||||||||||||||rus|| |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Белорусского государственного университета БелАР |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 546 |
| Индекс ББК | 24.12 |
|
070 Бринкевич, Д. И. кандидат физико-математических наук Дмитрий Иванович Белорусский государственный университет |
|
|
Модификация пленок диазохинонноволачного фоторезиста имплантацией ионов бора Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович, Ю. Н. Янковский |
|
| Дата издания оригинала | 2020 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 2 табл., 3 рис. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 68-69 (17 назв.) |
| Аннотация | Методом нарушенного полного внутреннего отражения исследованы пленки диазохинонноволачного фоторезиста, имплантированные ионами бора. |
|
Химия Химические элементы и их соединения |
|
| Ключевые слова |
фоторезисты ионная имплантация ионы бора валентные колебания бор спектры внутреннего отражения |
|
070 Просолович, В. С. кандидат физико-математических наук Владислав Савельевич Белорусский государственный университет 070 Янковский, Ю. Н. кандидат физико-математических наук Юрий Николаевич Белорусский государственный университет |
|
|
BY/FL BSU/STAT/Spiridonova/e3fc2a12f43f4d5f903a9c3d18da3c16 Журнал Белорусского государственного университета. Физика 2020 № 2. - С. 62-69 2520-2243 |
|
| RU | |
| 863 | |
|
https://elib.bsu.by/handle/123456789/248180 |
|
| Тип документа | b |
| Физика конденсированного состояния |
