| Индекс УДК | 531.7:534.1.08 |
| Автор | Бринкевич, Д. И. |
| Заглавие | Склерометрический метод измерения микротвердости пленок фоторезиста на кремнии |
| Физич. носитель | Текст |
| Ключевые слова | фоторезист |
| Другие авторы | Просолович, В. С. |
| Название источника | Приборы и методы измерений |
| Место и дата издания | 2016 |
| Прочая информация | Т. 7, № 1. - С. 77-84 |
