| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/518796276 |
| Дата корректировки | 14:04:36 9 июня 2016 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 531.7:534.1.08 |
| Автор | Бринкевич, Д. И. |
| Заглавие | Склерометрический метод измерения микротвердости пленок фоторезиста на кремнии |
| Физич. носитель | Текст |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 14 назв. |
| Ключевые слова | фоторезист |
|
кремний склерометрия микротвердость |
|
| Другие авторы | Просолович, В. С. |
|
Янковский, Ю. Н. Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. Гайшун, В. Е. |
|
| Название источника | Приборы и методы измерений |
| Место и дата издания | 2016 |
| Прочая информация | Т. 7, № 1. - С. 77-84 |
| Тип документа | b |
