| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/675007506 |
| Дата корректировки | 14:13:46 22 мая 2021 г. |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Хабибуллин, Р. А. | |
|
Изготовление терагерцового квантово-каскадного лазера с двойным металлическим волноводом на основе многослойных гетероструктур GaAs/AlGaAs Электронный ресурс |
|
| Fabrication of terahertz quantum cascade laser with double metal waveguide based on multilayer GaAs/AlGaAs heterostructures | |
| Библиография | Библиогр.: 14 назв. |
| Аннотация | Исследованы процессы постростовой обработки многослойных гетероструктур GaAs/AlGaAs для терагерцового квантово-каскадного лазера (ККЛ), включающей в себя термокомпрессионное соединение In-Au многослойных гетероструктур с легированной подложкой n{+}-GaAs, механическую шлифовку и селективное жидкостное травление подложки, сухое травление гребневых мезаполосков ККЛ через маску металлизации Ti/Au с шириной 50 и 100 мкм. Подобраны режимы реактивного ионного травления с источником индуктивно связанной плазмы в смеси газов BCl[3]/Ar для получения вертикальных стенок гребневых мезаполосков ККЛ и минимального распыления маски Ti/Au. |
|
Пономарёв, Д. С. Алферов, Ж. И. |
|
| Ключевые слова | терагерцовые квантово-каскадные лазеры |
|
многослойные гетероструктуры ионное травление гребневые мезаполоски терагерцовое излучение арсенид галлия арсенид алюминия-галлия |
|
|
Щаврук, Н. В. Павлов, А. Ю. Пономарев, Д. С. Томош, К. Н. Галиев, Р. Р. Мальцев, П. П. Жуков, А. Е. Цырлин, Г. Э. Зубов, Ф. И. Алфёров, Ж. И. |
|
| Название источника | Физика и техника полупроводников |
| Место и дата издания | 2016 |
| Прочая информация | Т. 50, вып. 10. - С. 1395-1400 |
| Имя макрообъекта | Хабибуллин_изготовление |
| Тип документа | b |
