Изготовление терагерцового квантово-каскадного лазера с двойным металлическим волноводом на основе многослойных гетероструктур GaAs/AlGaAs - Статьи - Базы данных - БГТУ

Изготовление терагерцового квантово-каскадного лазера с двойным металлическим волноводом на основе многослойных гетероструктур GaAs/AlGaAs

Авторы: Хабибуллин, Р. А. Пономарёв, Д. С. Алферов, Ж. И. Павлов, А. Ю. Пономарев, Д. С. Томош, К. Н. Мальцев, П. П. Жуков, А. Е. Цырлин, Г. Э. Зубов, Ф. И.

Подробная информация

Индекс УДК	621.315.592
	Изготовление терагерцового квантово-каскадного лазера с двойным металлическим волноводом на основе многослойных гетероструктур GaAs/AlGaAs Электронный ресурс
Аннотация	Исследованы процессы постростовой обработки многослойных гетероструктур GaAs/AlGaAs для терагерцового квантово-каскадного лазера (ККЛ), включающей в себя термокомпрессионное соединение In-Au многослойных гетероструктур с легированной подложкой n{+}-GaAs, механическую шлифовку и селективное жидкостное травление подложки, сухое травление гребневых мезаполосков ККЛ через маску металлизации Ti/Au с шириной 50 и 100 мкм. Подобраны режимы реактивного ионного травления с источником индуктивно связанной плазмы в смеси газов BCl[3]/Ar для получения вертикальных стенок гребневых мезаполосков ККЛ и минимального распыления маски Ti/Au.
Ключевые слова	терагерцовые квантово-каскадные лазеры
Название источника	Физика и техника полупроводников
Место и дата издания	2016
Прочая информация	Т. 50, вып. 10. - С. 1395-1400
Имя макрообъекта	Хабибуллин_изготовление