Поиск

Технология изготовления лазерных диодов из структур GaAs/InGaAs/AlGaAs, выращенных на Ge/Si подложке

Авторы: Алешкин, В. Я. Алёшкин, В. Я. Байдусь, Н. В. Дубинов, А. А. Кудрявцев, К. Е. Некоркин, С. М. Новиков, А. В. Рыков, А. В. Фефелов, А. Г. Юрасов, Д. В.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/686671389
Дата корректировки 14:29:14 4 октября 2021 г.
10.21883/FTP.2017.11.45105.19
Служба первич. каталог. Шавель
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.315.592
Алешкин, В. Я.
Технология изготовления лазерных диодов из структур GaAs/InGaAs/AlGaAs, выращенных на Ge/Si подложке
Электронный ресурс
The manufacturing technology of laser diodes from GaAs/InGaAs/AlGaAs structures grown on a Ge/Si substrate
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 10 назв.
Аннотация Созданы InGaAs/GaAs/AlGaAs лазерные диоды с квантовыми ямами, выращенными методом МОГФЭ на неотклоненной Si (001)-подложке с буферным слоем Ge. Диоды генерируют стимулированное излучение в импульсном режиме при комнатной температуре в спектральном диапазоне 1.09-1.11 мкм.
Алёшкин, В. Я.
Ключевые слова лазерные диоды
квантовые ямы
прямозонные полупроводники
полупроводники
гибридные лазерные диоды
кремниевые подложки
молекулярно-пучковая эпитаксия
подложки Ge/Si
германий
кремний
Байдусь, Н. В.
Дубинов, А. А.
Кудрявцев, К. Е.
Некоркин, С. М.
Новиков, А. В.
Рыков, А. В.
Самарцев, И. В.
Фефелов, А. Г.
Юрасов, Д. В.
Красильник, Ф.
Физика и техника полупроводников
2017
Т. 51, вып. 11. - С. 1530-1533
Имя макрообъекта Алешкин_технология
Тип документа b