| Маркер записи | n 22 4500 |
| Контрольный номер | BY/FL BSU/Stat/MazanikIN/15cc0374a08446f597db909fc145d81c |
| Дата корректировки | 8:01:24 27 апреля 2022 г. |
| Кодируемые данные | 220322s2022||||by |||||||||||||||||rus|| |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Белорусского государственного университета БелАР |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 621.382 |
| Индекс ББК | 32.852 |
|
070 Ковальчук, Н. С. кандидат технических наук Наталья Станиславовна |
|
|
Зарядовые свойства тонких подзатворных диэлектриков, полученных методом быстрой термообработки Н. С. Ковальчук [и др.] |
|
| Дата издания | 2022 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 2 рис. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 85 (22 назв.) |
| Аннотация | Исследованы зарядные свойства полученных методом быстрой термообработки тонких слоев диэлектриков и их границы раздела с кремнием для МОП-транзисторов. |
|
Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы |
|
| Ключевые слова |
диэлектрики транзисторы МОП-транзисторы зарядные свойства атомы водорода фотонная обработка кремний термообработка |
|
070 Марудо, Ю. А. Юлия Александровна 070 Омельченко, А. А. Анна Александровна 070 Пилипенко, В. А. член-корреспондент Владимир Александрович Национальная академия наук Беларуси 070 Солодуха, В. А. доктор технических наук Владимир Александрович 070 Демидович, С. А. Сергей Александрович 070 Колос, В. В. кандидат физико-математических наук Владимир Владимирович 070 Анищик, В. М. доктор физико-математических наук Виктор Михайлович Белорусский государственный университет 070 Филипеня, В. А. Виктор Анатольевич 070 Шестовский, Д. В. Дмитрий Викторович |
|
|
BY/FL BSU/Stat/MazanikIN/b941ee0f0dce41688d764cb26e73dcbb Журнал Белорусского государственного университета. Физика 2022 № 1. - С. 80-87 2520-2243 |
|
| RU | |
| 863 | |
| Тип документа | b |
| Физика и техника полупроводников |
