Зарядовые свойства тонких подзатворных диэлектриков, полученных методом быстрой термообработки
Ковальчук, Н. С., Марудо, Ю. А., Омельченко, А. А., Пилипенко, В. А., Солодуха, В. А., Демидович, С. А., Колос, В. В., Анищик, В. М., Филипеня, В. А., Шестовский, Д. В.
Зарядовые свойства тонких подзатворных диэлектриков, полученных методом быстрой термообработки, Н. С. Ковальчук [и др.]
2022 .-
2 рис.
