-
Влияние ионной имплантации азота на электрофизические свойства подзатворного диэлектрика силовых МОП-транзисторов
Оджаев, В. Б., Панфиленко, А. К., Петлицкий, А. Н., Просолович, В. С., Ковальчук, Н. С., Соловьев, Я. А., Филипеня, В. А., Шестовский, Д. В.
Влияние ионной имплантации азота на электрофизические свойства подзатворного диэлектрика силовых МОП-транзисторов, В. Б. Оджаев [и др.]
2020 .-
рис.
-
Зарядовые свойства тонких подзатворных диэлектриков, полученных методом быстрой термообработки
Ковальчук, Н. С., Марудо, Ю. А., Омельченко, А. А., Пилипенко, В. А., Солодуха, В. А., Демидович, С. А., Колос, В. В., Анищик, В. М., Филипеня, В. А., Шестовский, Д. В.
Зарядовые свойства тонких подзатворных диэлектриков, полученных методом быстрой термообработки, Н. С. Ковальчук [и др.]
2022 .-
2 рис.
-
Электролюминесценция пленок SiO[2] на Si, полученных термическим окислением и плазмохимическим осаждением
Романов, И. А., Ковальчук, Н. С., Власукова, Л. А., Пархоменко, И. Н., Солодуха, В. А., Пилипенко, В. А., Шестовский, Д. В., Демидович, С. А.
Электролюминесценция пленок SiO[2] на Si, полученных термическим окислением и плазмохимическим осаждением, И. А. Романов [и др.]
2021 .-
рис.
-
Влияние длительной и быстрой термообработок на формирование границы раздела алюминий – поликремний
Пилипенко, В. А., Ковальчук, Н. С., Жигулин, Д. В., Шестовский, Д. В., Анищик, В. М., Понарядов, В. В.
Влияние длительной и быстрой термообработок на формирование границы раздела алюминий – поликремний, В. А. Пилипенко [и др.]
2023 .-
-
Механизм взаимодействия алюминия с поликремнием при формировании омического контакта методами длительной и быстрой термообработок
Пилипенко, В. А., Ковальчук, Н. С., Жигулин, Д. В., Шестовский, Д. В., Анищик, В. М., Понарядов, В. В.
Механизм взаимодействия алюминия с поликремнием при формировании омического контакта методами длительной и быстрой термообработок, В. А. Пилипенко, Н. С. Ковальчук, Д. В. Жигулин [и др.]
2024 .-
3 рис.
-
Электрофизические характеристики силовых МОП-трансзисторов, дополнительно имплантированных ионами азота
Оджаев, В. Б., Петлицкий, А. Н., Просолович, В. С., Ковальчук, Н. С., Соловьев, Я. А., Шестовский, Д. В., Явид, В. Ю., Янковский, Ю. Н.
Электрофизические характеристики силовых МОП-трансзисторов, дополнительно имплантированных ионами азота, В. Б. Оджаев [и др.]
2022 .-
7 рис., 1 табл.
