Поиск

Влияние низкодозного протонного облучения на характеристики инжекционных диодов на основе 4H-SiC

Авторы: Иванов, П. А. Потапов, А. С. Кудояров, М. Ф. Самсонова, Т. П.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/689872145
Дата корректировки 15:14:18 10 ноября 2021 г.
10.21883/FTP.2018.10.46459.8863
Служба первич. каталог. Шавель
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.315.592
Иванов, П. А.
Влияние низкодозного протонного облучения на характеристики инжекционных диодов на основе 4H-SiC
Электронный ресурс
The effect of low dose proton irradiation on electrical characteristics of 4H-SiC junction diodes
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 8 назв.
Аннотация Исследовано влияние низкодозного протонного облучения (доза облучения 10{10}-1.8 · 10{11}см{-2}) на вольт-фарадные характеристики, прямые вольт-амперные характеристики и характеристики обратного восстановления высоковольтных диодов с p-n[o]-переходом на основе 4H-SiC. Облучение проводилось протонами с энергией 1.8МэВ через никелевую пленку толщиной 10 мкм (энергия протонов и толщина Ni пленки выбирались так, чтобы пробег протонов в карбиде кремния приблизительно равнялся глубине залегания p-n[o]-перехода). Показано, что протонное облучение в указанных дозах: 1) не вызывает сколько-нибудь заметного уменьшения концентрации основных носителей в диодах; 2) кардинально уменьшает время жизни неравновесных носителей при низком уровне инжекции (в десятки раз при максимальной дозе облучения); 3) уменьшает заряд обратного восстановления диодов при высоком уровне инжекции (до трех раз при максимальной дозе облучения).
Ключевые слова низкодозное протонное облучение
инжекционные диоды
кремниевые инжекционные p-n-диоды
кремний
диоды Шоттки
Потапов, А. С.
Кудояров, М. Ф.
Самсонова, Т. П.
Физика и техника полупроводников
2018
Т. 52, вып. 10. - С. 1187-1190
Имя макрообъекта Иванов_влияние
Тип документа b