| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/683643192 |
| Дата корректировки | 13:06:48 30 августа 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2018.04.45677.183 | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Астанкова, К. Н. | |
|
Исследование процесса локального анодного окисления тонких пленок GeO и создание наноструктур на их основе Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 15 назв. |
| Аннотация | Представлены результаты исследований процесса локального анодного окисления тонких пленок GeO с помощью атомно-силового микроскопа. Методом рентгеновского микроанализа установлено, что окисленные участки пленки GeO представляют собой диоксид германия. Исследовано влияние длительности импульсов напряжения, прикладываемого к системе зонд-подложка, и влажности воздуха на высоту оксидных структур. Кинетика процесса локального анодного окисления (ЛАО) GeO в полуконтактном режиме подчиняется модели Кабрера-Мотта для больших времен. Начальная скорость роста окисла (R[0]) значительно увеличивается, а время начала окисления (t[0]) уменьшается при повышении влажности воздуха на 20%, что связано с увеличением концентрации кислородсодержащих ионов на поверхности окисляемой пленки GeO. Показана возможность формирования наноструктур в тонких слоях GeO методом ЛАО. |
| Ключевые слова | пленки |
|
тонкие пленки оксид германия анодное окисление анодирование наноструктуры |
|
| Другие авторы | Кожухов, А. С. |
|
Азаров, И. А. Горохов, Е. Б. Щеглов, Д. В. Латышев, А. В. |
|
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 60, вып. 4. - С. 696-700 |
| Имя макрообъекта | Астанкова_исследование |
| Тип документа | b |
