Исследование процесса локального анодного окисления тонких пленок GeO и создание наноструктур на их основе
Астанкова, К. Н., Кожухов, А. С., Азаров, И. А. , Горохов, Е. Б., Щеглов, Д. В., Латышев, А. В.
Исследование процесса локального анодного окисления тонких пленок GeO и создание наноструктур на их основе, [Электронный ресурс]
ил., табл.
// Физика твердого тела .-
2018 .-
Т. 60, вып. 4. - С. 696-700 .-
Астанкова_исследование
