| Индекс УДК | 539.21 |
|
Исследование процесса локального анодного окисления тонких пленок GeO и создание наноструктур на их основе Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | пленки |
| Другие авторы | Кожухов, А. С. |
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 60, вып. 4. - С. 696-700 |
| Имя макрообъекта | Астанкова_исследование |
