| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/675516698 |
| Дата корректировки | 11:35:57 28 мая 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2020.01.48782.9222 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Тужилкин, М. С. | |
|
Формирование наночастиц Au и особенности травления подложки Si после облучения атомарными и молекулярными ионами Электронный ресурс |
|
| Formation of gold nanoparticles by irradiation with accelerated monatomic and molecular ions | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 21 назв. |
| Аннотация | Исследовано образованиe наночастиц при облучении тонких металлических плeнок золота быстрыми атомарными и молекулярными ионами. Полученные структуры были использованы для получения пористого кремния методом металл-ассистируемого каталитического химического травления. Размер получаемых наночастиц золота и структура пористого кремния сильно зависят от типа и флюенса падающих частиц. Локальное повышение плотности выделения энергии у поверхности мишени при бомбардировке молекулярными ионами позволяет существенно снизить дозы, необходимые для формирования заданных морфологий плeнки и распределения наночастиц на поверхности, оказывая в то же время меньшее радиационное воздействие на подложку. Форма спектров флуоресценции и спектров возбуждения флуоресценции пористого кремния, полученного из облученных структур, не зависит от параметров облучения, но изменяется в зависимости от концентрации травящего раствора. |
| Карасёв, П. А. | |
| Ключевые слова | наночастицы золота |
|
ионное облучение молекулярные ионы пористый кремний флуоресценция спектры флуоресценции каталитическое травление |
|
|
Беспалова, П. Г. Мишин, М. В. Колесников, И. Е. Карабешкин, К. В. Карасев, П. А. Титов, А. И. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2020 Т. 54, вып. 1. - С. 90-96 |
|
| Имя макрообъекта | Тужилкин_формирование |
| Тип документа | b |
