-
Влияние дозы имплантации и длительности отжига на люминесцентные свойства (113) дефектов в Si, имплантированном ионами кислорода
Соболев, Н. А., Калядин, А. Е., Аруев, П. Н., Забродский, В. В., Шек, Е. И. , Штельмах, К. Ф., Карабешкин, К. В.
Влияние дозы имплантации и длительности отжига на люминесцентные свойства (113) дефектов в Si, имплантированном ионами кислорода, [Электронный ресурс]
ил.
// Физика твердого тела .-
2016 .-
Т. 58, вып. 12. - С. 2411-2414 .-
Соболев_влияние
-
Влияние повышения плотности каскадов столкновений на эффективность генерации первичных смещений при ионной бомбардировке Si
Карабешкин, К. В., Карасёв, П. А., Карасев, П. А., Титов, А. И.
Влияние повышения плотности каскадов столкновений на эффективность генерации первичных смещений при ионной бомбардировке Si, [Электронный ресурс]
ил.
// Физика и техника полупроводников .-
2016 .-
Т. 50, вып. 8. - С. 1009-1015 .-
Карабешкин_влияние
-
Формирование наночастиц Au и особенности травления подложки Si после облучения атомарными и молекулярными ионами
Тужилкин, М. С., Карасёв, П. А., Беспалова, П. Г., Мишин, М. В., Колесников, И. Е., Карабешкин, К. В., Карасев, П. А., Титов, А. И.
Формирование наночастиц Au и особенности травления подложки Si после облучения атомарными и молекулярными ионами, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2020, Т. 54, вып. 1. - С. 90-96
Тужилкин_формирование
-
Кремниевые светодиоды с люминесценцией (113) дефектов
Калядин, А. Е., Штельмах, К. Ф., Аруев, П. Н., Забродский, В. В., Карабешкин, К. В., Шек, Е. И. , Соболев, Н. А.
Кремниевые светодиоды с люминесценцией (113) дефектов, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2020, Т. 54, вып. 6. - С. 580-584
Калядин_кремниевые
