Поиск

Влияние повышения плотности каскадов столкновений на эффективность генерации первичных смещений при ионной бомбардировке Si

Авторы: Карабешкин, К. В. Карасёв, П. А. Карасев, П. А. Титов, А. И.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Влияние повышения плотности каскадов столкновений на эффективность генерации первичных смещений при ионной бомбардировке Si
Электронный ресурс
Ключевые слова плотность каскадов столкновений
Название источника Физика и техника полупроводников
Место и дата издания 2016
Прочая информация Т. 50, вып. 8. - С. 1009-1015
Имя макрообъекта Карабешкин_влияние