Индекс УДК | 621.315.592 |
Влияние повышения плотности каскадов столкновений на эффективность генерации первичных смещений при ионной бомбардировке Si Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | плотность каскадов столкновений |
Название источника | Физика и техника полупроводников |
Место и дата издания | 2016 |
Прочая информация | Т. 50, вып. 8. - С. 1009-1015 |
Имя макрообъекта | Карабешкин_влияние |