Поиск

Влияние дозы имплантации и длительности отжига на люминесцентные свойства (113) дефектов в Si, имплантированном ионами кислорода

Авторы: Соболев, Н. А. Калядин, А. Е. Аруев, П. Н. Забродский, В. В. Шек, Е. И. Штельмах, К. Ф. Карабешкин, К. В.
Подробная информация
Индекс УДК 539.21
Влияние дозы имплантации и длительности отжига на люминесцентные свойства (113) дефектов в Si, имплантированном ионами кислорода
Электронный ресурс
Ключевые слова кремний
Другие авторы Калядин, А. Е.
Название источника Физика твердого тела
Место и дата издания 2016
Прочая информация Т. 58, вып. 12. - С. 2411-2414
Имя макрообъекта Соболев_влияние