Индекс УДК | 539.21 |
Влияние дозы имплантации и длительности отжига на люминесцентные свойства (113) дефектов в Si, имплантированном ионами кислорода Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | кремний |
Другие авторы | Калядин, А. Е. |
Название источника | Физика твердого тела |
Место и дата издания | 2016 |
Прочая информация | Т. 58, вып. 12. - С. 2411-2414 |
Имя макрообъекта | Соболев_влияние |