Поиск

Формирование наночастиц Au и особенности травления подложки Si после облучения атомарными и молекулярными ионами

Авторы: Тужилкин, М. С. Карасёв, П. А. Беспалова, П. Г. Мишин, М. В. Колесников, И. Е. Карабешкин, К. В. Карасев, П. А. Титов, А. И.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Формирование наночастиц Au и особенности травления подложки Si после облучения атомарными и молекулярными ионами
Электронный ресурс
Ключевые слова наночастицы золота
Физика и техника полупроводников
2020
Т. 54, вып. 1. - С. 90-96
Имя макрообъекта Тужилкин_формирование