Индекс УДК | 621.315.592 |
Формирование наночастиц Au и особенности травления подложки Si после облучения атомарными и молекулярными ионами Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | наночастицы золота |
Физика и техника полупроводников 2020 Т. 54, вып. 1. - С. 90-96 |
|
Имя макрообъекта | Тужилкин_формирование |