Формирование наночастиц Au и особенности травления подложки Si после облучения атомарными и молекулярными ионами
Тужилкин, М. С., Карасёв, П. А., Беспалова, П. Г., Мишин, М. В., Колесников, И. Е., Карабешкин, К. В., Карасев, П. А., Титов, А. И.
Формирование наночастиц Au и особенности травления подложки Si после облучения атомарными и молекулярными ионами, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2020, Т. 54, вып. 1. - С. 90-96
Тужилкин_формирование
