| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/530196358 |
| Дата корректировки | 12:45:58 19 октября 2016 г. |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Васильев, Ю. Б. | |
|
Геттерирование примесей в кремнии и параметры структур "металл-окисел-полупроводник" Текст |
|
| Библиография | Библиогр.: 6 назв. |
|
структура "металл-окисел-полупроводник" токи утечки геттерирование примесей кремний |
|
| Другие авторы | Оджаев, В. Б. |
|
Панфиленко, А. К. Петлицкий, А. Н. Садовский, П. К. Тарасик, М. И. Филипеня, В. А. Челядинский, А. Р. |
|
|
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика 2016 № 3. - С. 37-42 |
|
| Тип документа | b |
