еттерирование примесей в кремнии и параметры структур "металл-окисел-полупроводник"
Васильев, Ю. Б., Оджаев, В. Б., Панфиленко, А. К., Петлицкий, А. Н., Садовский, П. К., Тарасик, М. И. , Филипеня, В. А., Челядинский, А. Р.
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика, 2016, № 3. - С. 37-42