Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. еттерирование примесей в кремнии и параметры структур "металл-окисел-полупроводник"
Поиск

еттерирование примесей в кремнии и параметры структур "металл-окисел-полупроводник"

Авторы: Васильев, Ю. Б. Оджаев, В. Б. Панфиленко, А. К. Петлицкий, А. Н. Садовский, П. К. Тарасик, М. И. Филипеня, В. А. Челядинский, А. Р.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Другие авторы Оджаев, В. Б.
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика
2016
№ 3. - С. 37-42